| 平面干涉仪检测立方体直角误差的方法 |
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| 引用本文： | 刘树民. 平面干涉仪检测立方体直角误差的方法[J]. 光学技术, 2014, 40(3): 286-288 |
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| 作者姓名： | 刘树民 |
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| 作者单位： | 刘树民:南京理工大学 军工试验中心, 南京 210094
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| 摘 要： | 介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点,制做一个放置立方体的夹具,使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射,当与测试平行光重合时形成干涉,实现用平面干涉仪对立方体直角误差的检测。同时,也可对立方体表面平面度、玻璃材质缺陷等指标进行判别。具有与棱镜透镜干涉仪检测立方体直角误差的同等效果。
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| 关 键 词： | 平面干涉仪 测量 立方体 直角误差 |
| 收稿时间： | 2013-09-22 |
Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plane interferometer measurement cube right angle error |
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