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| 基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统 | |
| 引用本文： | 刘璐,李艳宁,吴森,胡晓东. 基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统[J]. 光学技术, 2014, 40(3): 219-224 |
| 作者姓名： | 刘璐 李艳宁 吴森 胡晓东 |
| 作者单位： | 刘璐:天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 李艳宁:天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 吴森:天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 胡晓东:天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61204117, 51075297); 863计划项目(2012AA041204) |
| 摘 要： | 针对微结构的偏转角度测试需求,设计并搭建了一套基于显微光杠杆技术的角度测量系统。该系统将光杠杆光路与无限共轭显微光路相结合,所得聚焦光斑直径小于10μm;采用电流模式电路处理四象限探测器输出信号,系统理论带宽超过5MHz;系统对微结构的转角测量分辨力和理论量程分别可达1.2″和±4°。利用该系统测量了原子力显微镜微悬臂梁探针在步进载荷下的偏转情况,测量结果与铁摩辛柯梁理论计算一致,验证了系统的可靠性。 |
| 关 键 词： | 光学测量 微结构 光杠杆 偏转角 电流模式 |
| 收稿时间： | 2013-09-22 |
Deflection angle measurement system for microstructure based on microscope optical lever |
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| Abstract: | |
| Keywords: | optical measurement microstructure optical lever deflection angle current-mode |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |