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多台阶相幅型菲涅耳波带片的矢量衍射
引用本文:朱艳,张耀举,赵艳.多台阶相幅型菲涅耳波带片的矢量衍射[J].激光与光电子学进展,2014,51(6):60501-30.
作者姓名:朱艳  张耀举  赵艳
作者单位:朱艳:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035
张耀举:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035
赵艳:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035
基金项目:国家自然科学基金(61078023,61377021)、浙江省科技公益项目(2010C31051)
摘    要:用矢量Rayleigh-Sommerfeld(VRS)衍射理论分析计算了高数值孔径多台阶相幅型菲涅耳波带片(M-SHFZP)的聚焦场分布。当线性偏振光垂直入射到M-SHFZP,结果显示:1)由于薄膜透射率随着刻蚀台阶深度发生变化,致使实际的M-SHFZP的聚焦强度小于多台阶纯相位型菲涅耳波带片(M-SPFZP)的聚焦强度,但是M-SHFZP的聚焦光斑大小基本上与M-SPFZP的相同;2)聚焦光的强度随着台阶数的增加而增加,但聚焦光斑的大小不随台阶数变化;3)对于低数值孔径的M-SHFZP,光轴上的强度呈现一个多焦点分布,但是对于高数值孔径的M-SHFZP,高级焦点的强度被大大抑制。台阶数愈多,数值孔径愈大,抑制高级次焦点的能力愈强。VRS矢量衍射理论的计算结果与时域有限差分法(FDTD)模拟结果基本一致。

关 键 词:物理光学  聚焦  矢量Rayleigh-Sommerfeld衍射理论  多台阶相幅型菲涅耳波带片  高数值孔径
收稿时间:2014/1/17

Vertical Diffraction of Multi-Step Hybrid Fresnel Zone Plates
Abstract:
Keywords:physical optics  focusing  vertical Rayleigh-Sommerfeld diffraction theory  multi-step hybrid Fresnel zone plate  high-numerical-aperture
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