金刚石薄膜生长条件气相反应的动力学分析

建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算，结果表明，该模型所预言的气相深度分布与实验定性一致，温度下限与实验的衬底表面温度定量一致。