| YBCO/MgO衬底台阶结的制备及其高频特性 |
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| 引用本文： | 尤立星,冯一军,潘俊,吉争鸣,周赣东,康琳,左景萍,杨森祖,吴培亨,陈国新,王牧.YBCO/MgO衬底台阶结的制备及其高频特性[J].低温物理学报,1999,21(5):372-375. |
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| 作者姓名： | 尤立星 冯一军 潘俊 吉争鸣 周赣东 康琳 左景萍 杨森祖 吴培亨 陈国新 王牧 |
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| 作者单位： | 南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南京大学电子科学与工程系!南京210093，南 |
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| 基金项目： | 国家超导技术研究与开发中心和日本Telecommunication Advancement Organization （TAO） 国 |
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| 摘 要： | 我们利用光刻胶作为掩膜，在ＭｇＯ 单晶衬底上采用斜角Ａｒ 离子刻蚀方法制备了台阶衬底．并在此衬底上制成了ＹＢＣＯ台阶结．测量结果表明，该结基本符合ＲＳＪ模型，并具有良好的高频特性．
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| 关 键 词： | YBCO 氧化镁衬底 高频特性 台阶结 制备 |
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