| 百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法 |
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| 引用本文： | 陈球.百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法[J].微电子技术,2001,29(1):60-64. |
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| 作者姓名： | 陈球 |
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| 作者单位： | 中国华晶电子集团公司动力工厂, |
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| 摘 要： | 探讨在百级洁净室处理洁净度异常问题的思路、方法和手段。
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| 关 键 词： | 集成电路 VLSI 洁净度 洁净室 |
| 文章编号： | 1008-0147(2001)01-60-05 |
| 修稿时间： | 2000年10月12 |
Cause and Approach to Cleanliness Abnormality
in Class 100 Clean Room |
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| CHEN Qiu.Cause and Approach to Cleanliness Abnormality
in Class 100 Clean Room[J].Microelectronic Technology,2001,29(1):60-64. |
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| Authors: | CHEN Qiu |
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| Abstract: | Probes into the approach to cleanliness abnormality in Class 100 clean room. |
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| Keywords: | Unidirectional flow Contamination Cleanliness Leakage |
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