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激光干涉信号的位置及偏差提取
引用本文:窦秀明,代作晓,华建文,孙方,龚惠兴.激光干涉信号的位置及偏差提取[J].半导体光电,2007,28(4):576-578.
作者姓名:窦秀明  代作晓  华建文  孙方  龚惠兴
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
基金项目:中国科学院知识创新工程项目
摘    要:为提高傅里叶变换光谱仪的性能,提出了一种精密的激光干涉信号位置及位置偏差提取方法.正交激光干涉信号经过放大,滤波,整形,成为正交数字信号,判向后在可逆计数器实时计数,DSP每隔固定时间读取一次计数器的值,获得位置信号.利用同步脉冲获得实际位置值,并将原误差减小后转移到参考位置值,使位置偏差的精度大大提高,相应提高了控制精度,同时使得实际位置的测量误差达到纳米级.

关 键 词:傅里叶变换光谱仪  同步  偏差  精度
文章编号:1001-5868(2007)04-0576-03
修稿时间:2006-09-18

Research on Laser Interferential Signals Processing to Obtain Position and Position Error
DOU Xiu-ming,DAI Zuo-xiao,HUA Jian-wen,SUN Fang,GONG Hui-xing.Research on Laser Interferential Signals Processing to Obtain Position and Position Error[J].Semiconductor Optoelectronics,2007,28(4):576-578.
Authors:DOU Xiu-ming  DAI Zuo-xiao  HUA Jian-wen  SUN Fang  GONG Hui-xing
Institution:Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083,CHN
Abstract:
Keywords:Fourier tramsform spectrometer  synchronization  error  precision
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