关于空气静压导轨的研究——影响自激振动产生的各种主要因素 |
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引用本文: | 里见忠笃,赵玉明.关于空气静压导轨的研究——影响自激振动产生的各种主要因素[J].电子工业专用设备,1984(2). |
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作者姓名: | 里见忠笃 赵玉明 |
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摘 要: | <正> 1.绪言由于空气静压导轨在正确使用时,摩擦、泄漏、热等的影响极小,其精度永久不会下降等原因,所以,近几年在电子元器件制造设备和测量仪器等方面应用越来越广。通过从四十代末一直到六十年代的研究,基本搞明白了基础理论。如果把这些理论应用
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