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| 硅基二氧化硅阵列波导光栅制作工艺的研究 | |
| 摘 要： | 硅基二氧化硅阵列波导光栅是集成化波分复用光网络中的核心器件之一.对其制作工艺的研究对提高器件的性能具有重大意义.提出一种在波导上包层使用硼锗共掺高温退火的工艺方法,成功实现阵列波导间空隙的填充,并将阵列波导光栅的插入损耗成功降低约2 dB.相对于传统的硼磷硅玻璃工艺,此方法避免了剧毒气体磷烷的使用,工艺简便安全,同时降... |
| 关 键 词： | 集成光学 平面光波导器件 硼锗共掺高温退火 阵列波导光栅 硅基二氧化硅光波导 |
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