Al基反射膜的激光损伤阈值研究北大核心CSCD |
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引用本文: | 刘涛,朱华新,曹建军,胡立发,章汪维,陈晓家.Al基反射膜的激光损伤阈值研究北大核心CSCD[J].光学技术,2023(2):168-174. |
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作者姓名: | 刘涛 朱华新 曹建军 胡立发 章汪维 陈晓家 |
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作者单位: | 1. 江南大学理学院;2. 江苏省轻工光电工程技术研究中心 |
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基金项目: | 国家自然科学基金青年基金(61605067); |
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摘 要: | 为研究金属Al保护、单周期及双周期增强反射膜在5ns脉宽的532nm激光器下的激光损伤阈值(LIDT),采用Comsol软件进行仿真及分析,仿真过程引入SiO2和Ta2O5的拉伸强度(膜层断裂应力)作为阈值条件,得到三种膜系的损伤阈值分别为0.318J/cm^(2)、1.325J/cm^(2)和3.382J/cm^(2),通过搭建实验平台进行激光阈值测试,采用1-on-1模式,选取50%概率的激光损伤点作为损伤阈值,测得激光功率分别为0.288J/cm^(2)、1.232J/cm^(2)及3.152J/cm^(2),与仿真结果较为接近,说明采用拉伸强度分析的该类模型更符合实际损伤,为此类膜系在实际应用中阈值的预测提供了理论基础。
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关 键 词: | 反射膜 激光损伤 拉伸强度 |
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