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| 用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 | |
| 作者姓名： | 张彬 林碧霞 傅竹西 施朝淑 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学结构分析开放实验室, 安徽合肥230026;中国科学技术大学物理系, 安徽合肥 230026 |
| 基金项目： | 自然科学基金资助项目 ( 5 9872 0 37) |
| 摘 要： | 本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜,薄膜具有(002)取向,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右,现有的薄膜在525nm处有强的光致发光。 |
| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 电子束热蒸发 光致发光光谱 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)03-0309-03 |
| 收稿时间： | 2001-03-22 |
| 修稿时间： | 2001-03-22 |
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