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| 双氧水在碱性抛光液中的稳定性研究 | |
| 引用本文： | 李湘,刘玉岭,王辰伟,尹康达.双氧水在碱性抛光液中的稳定性研究[J].半导体技术,2012,37(11). |
| 作者姓名： | 李湘 刘玉岭 王辰伟 尹康达 |
| 作者单位： | 河北工业大学 微电子研究所,天津,300130;河北工业大学 微电子研究所,天津,300130;河北工业大学 微电子研究所,天津,300130;河北工业大学 微电子研究所,天津,300130 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 双氧水 碱性抛光液 稳定性 氧化剂 材料去除速率 |
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