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| InP晶体多线切割工艺研究 | |
| 引用本文： | 李保军,林健,马玉通.InP晶体多线切割工艺研究[J].半导体技术,2012,37(11). |
| 作者姓名： | 李保军 林健 马玉通 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第四十六研究所,天津,300220;中国电子科技集团公司 第四十六研究所,天津,300220;中国电子科技集团公司 第四十六研究所,天津,300220 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 磷化铟晶体 多线切割 几何参数 切割速度 线张力 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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