具有广阔前景的热等离子体处理 |
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引用本文: | 陈熙.具有广阔前景的热等离子体处理[J].物理,1991,20(4):236-240,206. |
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作者姓名: | 陈熙 |
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作者单位: | 清华大学工程力学系 北京100084 |
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摘 要: | 本文概述了热等离子体的基本概念、产生方法以及它在材料处理中的应用.热等离子体处理(the-rmal plasma processing)已经并将继续产生巨大的经济效益.对有关的基本过程缺乏深入的了解已成为该领域进一步发展的主要障碍,因而近来已成为快速增长的研究领域.本文最后部分列举了若干有待深入研究的基本问题,并评论了某些最近的研究进展.
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关 键 词: | 热等离子体 产生 |
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