超薄硅双面抛光片加工效率的提升 |
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作者姓名: | 田原 刘雪松 杨玉梅 杨春颖 樊树斌 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
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摘 要: | 用于5G通信芯片支撑层的超薄硅双面抛光片的生产是一个需要攻克的难题。该产品的技术难点在于,硅片厚度低至100μm,薄如纸张,采用传统粘蜡抛光工艺,加工效率极低且碎片率极高,同时硅片几何参数无法保证,成品率较低。由于磨削工艺可有效减少硅片表面的损伤层、改善几何参数,所以针对超薄硅片的加工,采用贴膜抛光工艺可以保证抛光的效率和成品率。在硅片腐蚀后采用磨削+贴膜抛光的工艺,解决了超薄硅双抛片加工效率低、碎片率高、几何参数难以保证、成品率低的问题。
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关 键 词: | 硅片 双面抛光 磨削 |
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