| HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究 |
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| 引用本文： | 陈珂,杨涛,吴陪均,陈烈.HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究[J].低温物理学报,1999,21(1):25-29. |
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| 作者姓名： | 陈珂 杨涛 吴陪均 陈烈 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院物理研究所、超导国家重点实验室,北京,100080
2. 西北大学物理系、西北大学近代物理研究所,西安,710069 |
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| 摘 要： | 本文用原子力显微镜（ＡＦＭ）对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量．结果表明：台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响．文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析，并讨论了台阶结制作工艺重复性差，成品率低的原因
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| 关 键 词： | HTS 台阶边缘结 超导器件 离子束蚀刻 |
CHARACTERISTICS AND MAKING OF HTS STEP-EDGE JOSEPHSON JUNCTIONS |
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| K.Chen,T.Yang,P.J.Wu,L.Chen.CHARACTERISTICS AND MAKING OF HTS STEP-EDGE JOSEPHSON JUNCTIONS[J].Chinese Journal of Low Temperature Physics,1999,21(1):25-29. |
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| Authors: | KChen TYang PJWu LChen |
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