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| Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x三端器件构造和性能的研究 | |
| 作者姓名： | 刘保亭 Yu.Kislinskii 郝昭 陈莺飞 许波 陈红 吴非 赵柏儒 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080 2. Institute of Crystallography, Mosccow, Russia 117333 |
| 摘 要： | 应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ａｇ／Ｐｂ（Ｚｒ０．５３Ｔｉ０．４７）Ｏ３／ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＰＺＴ／ＹＢＣＯ）三端器件．为了降低矫顽场，应用变形相界（ｘ≈０．５３）的５５０纳米厚的ＰＺＴ作为门电极，通过优化沉积条件和门电极面积小型化（６×１０－６ｃｍ２），在６４Ｋ下三端器件门电极显示了极好的电性能，低的矫顽场（～３７ｋＶ／ｃｍ）、大的饱和极化强度（６０μＣ／ｃｍ２）、剩余极化强度（４１μＣ／ｃｍ２）以及击穿电压～３×１０５Ｖ／ｃｍ．对于我们的场效应器件，在±９Ｖ的情况下沟道电阻被调制～３％． |
| 关 键 词： | YBCO 三端器件 超导体 构造 性能 |
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