| 压力传感器封装中的波纹膜片结构研究 |
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| 引用本文： | 王俊杰,秦会斌.压力传感器封装中的波纹膜片结构研究[J].电子与封装,2015(5). |
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| 作者姓名： | 王俊杰 秦会斌 |
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| 作者单位： | 杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所,杭州,310018 |
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| 摘 要： | 针对压力传感器隔离式封装中的波纹膜片这一关键部件,采用有限元分析的方法研究了波纹膜片的厚度、波纹深度和波纹数目分别对最大压力约0.1 MPa下的压力传感器输出信号的影响,优化了波纹膜片结构的参数选择。通过对封装了不同波纹膜片的样品的测试与比较表明,较小的膜厚与波纹深度、较多的波纹数目有助于提高压力传感器的性能,从而验证了波纹膜片结构优化的正确性。
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| 关 键 词： | 压力传感器 封装 波纹膜片 有限元分析 |
Research on Structure of Corrugated Diaphragm in Pressure Sensor Packaging |
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| WANG Junjie,QIN Huibin.Research on Structure of Corrugated Diaphragm in Pressure Sensor Packaging[J].Electronics & Packaging,2015(5). |
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| Authors: | WANG Junjie QIN Huibin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensor packaging corrugated diaphragm ifnite element analysis |
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