| (Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究 |
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| 引用本文： | 薛建设,林炜,马瑞新,康勃,吴中亮.(Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究[J].液晶与显示,2007,22(5):560-564. |
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| 作者姓名： | 薛建设 林炜 马瑞新 康勃 吴中亮 |
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| 作者单位： | 1. 北京京东方光电科技有限公司,北京,100176
2. 北京科技大学,冶金与生态工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 北京市科委科技计划项目 |
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| 摘 要： | 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上氩气气氛中制备出(Al,Zr)共掺杂的ZnO透明导电薄膜,研究了不同Zr掺杂浓度和薄膜厚度ZnO薄膜的结构、电学和光学特性。结果表明,在最佳沉积条件下我们制备出了具有(002)单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,电阻率为2.2×10-2Ω.cm,且可见光段(320～800nm)平均透过率达到85%的ZnO透明导电薄膜。在150℃的条件下对(Al,Zr)共掺杂的ZnO薄膜进行1h的退火处理,薄膜电阻率降低至8.4×10-3Ω.cm。Zr杂质的掺入改善了薄膜的可见光透光性。
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| 关 键 词： | 氧化锌 透明导电薄膜 电阻率 透光率 射频磁控溅射 |
| 文章编号： | 1007-2780（2007）05-0560-05 |
| 收稿时间： | 2007-03-27 |
| 修稿时间： | 2007-06-14 |
Structural, Optical and Electrical Properties of Al-Zr Codoped ZnO Transparent Conductive Thin Films |
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| XUE Jian-she,LIN Wei,MA Rui-xin,KANG Bo,WU Zhong-liang.Structural, Optical and Electrical Properties of Al-Zr Codoped ZnO Transparent Conductive Thin Films[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2007,22(5):560-564. |
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| Authors: | XUE Jian-she LIN Wei MA Rui-xin KANG Bo WU Zhong-liang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO transparent conductive thin film resistivity transmittance RF magnetron sputtering |
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