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| 轴向气相沉积法F掺杂对玻璃的腐蚀作用 | |
| 引用本文： | 陈强,陈海斌,陈剑,李应.轴向气相沉积法F掺杂对玻璃的腐蚀作用[J].现代传输,2020(1):78-79. |
| 作者姓名： | 陈强 陈海斌 陈剑 李应 |
| 作者单位： | 成都富通光通信技术有限公司 |
| 摘 要： | 利用轴向气相沉积法制备高掺F光纤预制棒过程中,CF4作为掺F源,在高温状态下,对所接触到的玻璃器皿产生腐蚀作用。本文研究了CF4气体在沉积过程对喷灯的腐蚀规律;CF4气体在玻璃化过程中对玻璃化炉的腐蚀。 |
| 关 键 词： | 轴向气相沉积法 高掺F CF4 腐蚀 |
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