| 微纳米加工技术及其应用综述 |
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| 引用本文： | 崔铮.微纳米加工技术及其应用综述[J].物理,2006,35(1):34-39. |
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| 作者姓名： | 崔铮 |
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| 作者单位： | 英国卢瑟福国家实验室微结构中心 |
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| 摘 要： | 材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征，纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一。微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加上技术，文章对微纳米加上技术做了一个综合的介绍，简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区别，在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则，并对当前微纳米加工技术面临的挑战和今后发展的趋势作了预测。
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| 关 键 词： | 微纳米技术 微纳米加工 微系统技术 微小型化 |
| 收稿时间： | 2005-10-17 |
| 修稿时间： | 2005-10-17 |
Overview of micro/nanofabrication technologies and applications |
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| CUI Zheng.Overview of micro/nanofabrication technologies and applications[J].Physics,2006,35(1):34-39. |
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| Authors: | CUI Zheng |
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| Institution: | Rutherford Appleton Laboratory, Central Mierostrueture Facility Chilton, Didcot, Oxon Ox11 0QX, UK |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro/nanotechnology micro/nanofabrication microsystem technology miniaturisation |
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