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| 金属—Al2O3—硅结构湿度传感器 | |
| 引用本文： | 骆如枋.金属—Al2O3—硅结构湿度传感器[J].物理,1992,21(10):638-639. |
| 作者姓名： | 骆如枋 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | 金属-Al2O3-硅结构(以下简称Si-MOS)电容型湿度传感器主要用于三个方面:微电子器件及IC气密封装内腔气相湿度的非破坏性检测;器件及IC封装工艺保护气氛湿度的在线监测;各种永久性气体中微量水分的连续监测.在物理研究中,还可对混合气相中的水分压进行连续检测. 微电子器件封壳内的水汽含量过高,会使器件或IC发生金属弥散、MOS反型、布线长毛分枝以及其他失效;估计因湿气过高所导致的失效要占器件总失效的50%以上.Si-MOS湿度传感器正是为了满足这种检测需要和控制工艺过程而发明的,因此具有重大的实用意义. 一般高可靠性器件的内腔体… |
| 关 键 词： | 湿度传感器 传感器 氧化铝 |
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