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探讨用SEM-EDS分析材料的碳含量
引用本文:吴东晓,郭莉萍,张大同.探讨用SEM-EDS分析材料的碳含量[J].电子显微学报,2003,22(6):532-532.
作者姓名:吴东晓  郭莉萍  张大同
作者单位:华南理工大学,测试中心,广东,广州,510641
摘    要:扫描电镜同能谱仪联用,为材料的元素分析提供了方便。对原子序数高的元素分析,可以做到定性和半定量分析;对轻元素分析,如碳,多数为定性分析。其原因为:其一,碳为轻元素,特征X射线能量低,信号被探测器收集过程中,损失大;其二,计算中使用不同方法扣除碳元素背底,对计算结果会有不同的影响。

关 键 词:扫描电镜  能谱仪  碳含量  原子序数  定性分析  半定量分析  渗碳

Discussion of the application of SEM and EDS on carbon content analysis
Abstract:
Keywords:
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