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| a—Si：H磷掺杂固相效率和相关分配系数 | |
| 引用本文： | 颜一凡.a—Si：H磷掺杂固相效率和相关分配系数[J].固体电子学研究与进展,1996,16(3):289-291. |
| 作者姓名： | 颜一凡 |
| 摘 要： | 证明了分配系数ｄ是气相浓度Ｘｐ（ｇ）的解析函数，其系数由ａ－Ｓｉ：Ｈ生长期间界面上固／气相平衡反应常数决定。ｄ这种性质致磷掺杂固相效率可藉助Ｘｐ（ｇ）进行解析计算。 |
| 关 键 词： | 非晶硅 掺杂效率 分配系数 |
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