| 压电致动微喷的压力波特征分析 |
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| 引用本文： | 冯焱颖,周兆英,叶雄英,王国辉.压电致动微喷的压力波特征分析[J].微纳电子技术,2003,40(7):506-511. |
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| 作者姓名： | 冯焱颖 周兆英 叶雄英 王国辉 |
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| 作者单位： | 清华大学微米纳米中心微机械实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 973项目"集成微光机电系统"(G1999033106)和教育部重点项目资助 |
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| 摘 要： | 提出了一种压电致动的阵列微喷,以面向吸入式药物治疗应用。该阵列微喷工作在器件的谐振点上,其工作性能决定于液体腔中的压力波的分布和大小。本文针对该类微喷建立了考虑压电-固-液耦合和压力波传播效应的等效模型,并利用有限元方法对整个器件的结构振动模态和压力驻波模态进行了分析。文章对不同振动模态下,液体腔中的声压力波分布以及对微喷设计的影响进行了讨论。
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| 关 键 词： | 压电致动 阵列微喷 压力波特征 吸人式药物治疗 雾化器 MEMS |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0506-06 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Characterization of the pressure wave in piezoelectrically actuated micro jet |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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