| 薄膜型超导红外(光)探测器 |
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| 引用本文： | 万云,平一梅,姚久胜.薄膜型超导红外(光)探测器[J].光子学报,2002,31(9):1138-1142. |
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| 作者姓名： | 万云 平一梅 姚久胜 |
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| 作者单位： | 1. 西北大学物理系,西安,710069
2. 中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (1 0 1 471 0 4)，陕西省科学研究发展计划 (2 0 0 1K0 6-G1 8)，陕西省自然科学基金 (2 0 0 1SL0 4)资助项目 |
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| 摘 要： | 在高Tc GdBaCuO超导薄膜上,采用光刻技术分别制成两种不同结构的辐射、热测量器件及2×4集成阵列式微桥器件红外(光)探测器.探测器芯片安装在STD-3型红外探测器杜瓦冷指上.用黑体及波长为0.6328μm的He-Ne激光器辐照器件,系统观测各种器件的特性,其中最好的结果:在10Hz时的噪音等效功率NEP(500,10,1)=3.6×10-12 WHz1/2;探测率D*(500,10,1)=1.6×1010 cmHz1/2W-1;响应率Rv=8.2×103VW-1.另外,多元串接微桥器件出现的多台阶式的特性,可望在红外探测计量及高频方面获得重要应用.
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| 关 键 词： | 超导薄膜 红外探测 阵列 微桥 |
| 收稿时间： | 2002/1/11 |
| 修稿时间： | 2002年1月11日 |
SUPERCONDUCTING THIN FILM INFRARED (LIGHT)DETECTOR |
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| Wan Yun,Ping Yimei,Yao Jiusheng.SUPERCONDUCTING THIN FILM INFRARED (LIGHT)DETECTOR[J].Acta Photonica Sinica,2002,31(9):1138-1142. |
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| Authors: | Wan Yun Ping Yimei Yao Jiusheng |
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| Institution: | Wan Yun 1 Ping Yimei 1 Yao Jiusheng 2 1 Department of Physics,Northwest University,Xi'an 710069 2 Center for Space Science and Applied Research,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100080 |
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| Abstract: | Two different patterns of Bolometer and the 2?4 array microbridge device are designed and fabricated using ordinary photolithography with high Tc superconducting GdBaCuO thin film. Using the blackbody of 500K and He Ne laser, the properties of the devices are measured. The optimun results are as follows:NEP(500,10,1)=3.6?10WHz1/2,D*(500,10,1)=1.6?1010 cmHz1/2 W-1, Rv=8.2 ?103VW-1.The steps characteristic of the series microbridge device will be applied in the infrared detectors in future. |
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| Keywords: | Superconducting thin film Infrared detection Array Microbridge |
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