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| 飞秒激光加工 | |
| 引用本文： | 陈艳,晓晨.飞秒激光加工[J].激光与光电子学进展,2001(3):53-57. |
| 作者姓名： | 陈艳 晓晨 |
| 摘 要： | 1 前言随着新激光装置的开发 ,激光加工技术也取得了巨大进展。 6 0～ 70年代是 YAG激光器与 CO2 激光器的时代 ,主流是金属加工。进入 80年代后 ,准分子激光器登场 ,发展为利用它的短波长对聚合物、瓷器等非金属材料进行精密加工。进入 90年代后 ,飞秒钛蓝宝石激光器进入了加工领域。其背景是时代对各种材料要求更精密的加工技术以及随着激光技术的进步 ,可以容易地得到飞秒领域的超短脉冲激光。的确 ,准分子激光器与以往的 YAG激光器及 CO2 激光器相比 ,可以用于更精密的加工 ,但不适合金属材料的加工。而 YAG激光器与 CO2 激光器… |
| 关 键 词： | 飞秒激光 激光加工 激光应用 |
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