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| 硅片中微缺陷的CO_2激光自动选择退火 | |
| 引用本文： | 丁乐礼,傅汝廉,开桂云.硅片中微缺陷的CO_2激光自动选择退火[J].中国激光,1986,13(9):583. |
| 作者姓名： | 丁乐礼 傅汝廉 开桂云 |
| 作者单位： | 南开大学电子科学系 (丁乐礼)，南开大学现代光学研究所 (傅汝廉)，南开大学现代光学研究所(开桂云) |
| 摘 要： | 利用硅对CO_2激光吸收是自由载流子吸收的特点,将有微缺陷的硅片按器件图形扩硼以后,再用CO_2激光进行短时间退火,能够只把器件有源区里面的微缺陷消除掉。 实验结果表明,经CO_2激光退火以后,报废器件的性能可以修复,有微缺陷的硅片可以用来做器件,而且效果更好。CO_2激光退火的选择是在退火过程中自动完成的,不需要借助于任 |
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