| MEMS器件在冲击下的可靠性 |
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| 引用本文： | 方绪文,唐洁影,黄庆安.MEMS器件在冲击下的可靠性[J].微纳电子技术,2004,41(7):31-34. |
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| 作者姓名： | 方绪文 唐洁影 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
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| 摘 要： | MEMS器件在制造、运输和使用过程中不可避免地受到不同程度的冲击作用,分析和认识MEMS器件在冲击下的响应和失效模式,对提高器件的耐冲击和可靠性具有一定的指导意义。本文综述了MEMS器件的冲击测试和理论分析方法,对MEMS器件的可靠性设计具有一定参考价值。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 冲击 可靠性 可靠性设计 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)07-0031-04 |
| 修稿时间： | 2004年1月13日 |
The reliability of MEMS devices in shock environments |
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| FANG Xu-wen,TANG Jie-ying,HUANG Qing-an.The reliability of MEMS devices in shock environments[J].Micronanoelectronic Technology,2004,41(7):31-34. |
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| Authors: | FANG Xu-wen TANG Jie-ying HUANG Qing-an |
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| Abstract: | Exposure of MEMS to shock environments can occur during fabrication,transportation and operation. Its very important for reliability design to identify the response of MEMS devices in shock environments. The methods of test and analysis in shock environments are outlined. |
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| Keywords: | MEMS shock reliability design of reliability |
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