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| 高性能128×128元PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵 | |
| 引用本文： | 杨家德,李作金.高性能128×128元PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵[J].半导体光电,1993,14(2):127-133. |
| 作者姓名： | 杨家德 李作金 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所，重庆光电技术研究所，重庆光电技术研究所 永川 632163教授级高工，永川 632163，永川 632163 |
| 摘 要： | 设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。 |
| 关 键 词： | 焦平面列阵 光腔 埋沟 肖特基势垒 |
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