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| 二代微通道板（MCP）放气成分质谱分析 | |
| 引用本文： | 徐江涛.二代微通道板（MCP）放气成分质谱分析[J].应用光学,2000,21(5):1-4. |
| 作者姓名： | 徐江涛 |
| 作者单位： | 西安应用光学研究所!陕西西安710100 |
| 摘 要： | 模拟二代微光管制管工艺，对MCP经不同工艺处理后的放气成份进行分析，发现工艺质量本质是造成MCP污染的主要因表。经改进工艺，提高了制管成品率和管子性能。 |
| 关 键 词： | 微通道板 微光管 工艺处理 放气成份 质谱 |
| 收稿时间： | 1999/12/8 |
| 修稿时间： | : |
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