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毫米波段高效多层ZnO薄膜声换能器

作者姓名：	B.Hadimioglu 王宗富周小平

作者单位：	美·斯坦福大学Edward L.Ginzton实验室

摘要：	我们已经制作出多层ZnO声换能器,作为毫米波段高效声波激励。换能器由厚度为半波长的具有交替晶体结构的ZnO薄膜构成。在液氮温度下测量双向未调谐转换损耗,近29GHz时为27dB,96GHz时为50dB。
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