| CXS系列旋转冲洗甩干机介绍 |
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| 引用本文： | 清洗设备公司.CXS系列旋转冲洗甩干机介绍[J].电子工业专用设备,2002,31(2):108-111. |
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| 作者姓名： | 清洗设备公司 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子第四十五研究所,北京东燕郊,101601 |
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| 摘 要： | ＣＸＳ系列旋转冲洗甩干机是由信息产业部电子第四十五研究所根据国内半导体产业的发展和市场需求 ,于 2 0 0 0年研究开发的旋转冲洗甩干设备。该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模板、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。1 ＣＸＳ系列机型ＣＸＳ系列机型针对不同用户、不同工艺需求、不同应用场合开发了系列化机型。用户可按自己的要求和不同工艺选择适合自己的机型型号和功能配置要求。其中 ,ＣＸＳ— 2 15 0ＯＡ型为双工作腔结构 ,最大加工片子直径15 0ｍｍ。…
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| 关 键 词： | CXS系列 旋转冲洗 甩干机 半导体 湿法清洗 |
| 文章编号： | 1004-4507(2002)02-0108-04 |
| 修稿时间： | 2002年4月20日 |
A Introduction of CXS Series Spinning Rinsing |
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