| 压电双晶片驱动的压电微泵的研究 |
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| 引用本文： | 王海宁,崔大付,耿照新,陈兴.压电双晶片驱动的压电微泵的研究[J].压电与声光,2007,29(3):302-304. |
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| 作者姓名： | 王海宁 崔大付 耿照新 陈兴 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。
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| 关 键 词： | 微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS) |
| 文章编号： | 1004-2474（2007）03-0302-03 |
| 修稿时间： | 2006-02-16 |
Study on Piezoelectric Micropump Driven by PZT Bimorph |
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| WANG Hai-ning,CUI Da-fu,GENG Zhao-xin,CHEN Xing.Study on Piezoelectric Micropump Driven by PZT Bimorph[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2007,29(3):302-304. |
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| Authors: | WANG Hai-ning CUI Da-fu GENG Zhao-xin CHEN Xing |
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| Institution: | Institute of Electronics, Chinese Academy of Science, Beijing 100080 China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micropump piezoelectric bimorph PDMS |
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