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| 微悬臂梁探测器的理论模型及优化设计 | |
| 引用本文： | 刘月明,张少君,刘君华. 微悬臂梁探测器的理论模型及优化设计[J]. 光学学报, 2001, 21(6): 44-748 |
| 作者姓名： | 刘月明 张少君 刘君华 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学电气工程学院,西安理工大学理学院, 2. 西安理工大学理学院, 3. 西安交通大学电气工程学院, |
| 基金项目： | 国家自然科学基金! (6 9776 0 37)，陕西省教委专项科研计划项目! (0 0JK2 6 3) |
| 摘 要： | 对基于微悬臂梁的光学和红外探测技术进行了理论分析，并建立了相应的理论模型，在此基础上对该类探测器进行了优化设计，包括：微悬臂梁材料的优化选择、金属镀膜材料及厚度的优化选择以及光辐射吸收层材料的选择。最终给出了一种新型的三层结构微悬臂梁探测器，理论上这种新型结构的探测器比现报道的同类探测器灵敏度高出20多倍，噪声等效功率降低了85％－70％。 |
| 关 键 词： | 微悬臂梁 探测器 光辐射 优化设计 红外探测器 |
Model and Optimization of a Novel Detector for Light Radiation |
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| Abstract: | |
| Keywords: | microcantilever detector light radiation optimization |
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