| 薄膜声表面波器件的制备研究进展 |
| |
| 引用本文： | 王锐,杨成韬,张树人,李健雄. 薄膜声表面波器件的制备研究进展[J]. 电子元件与材料, 2008, 27(2): 8-9 |
| |
| 作者姓名： | 王锐 杨成韬 张树人 李健雄 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054 |
| |
| 摘 要： | 介绍了薄膜声表面波器件的发展历史和特点,以及压电薄膜声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的一些概况,并展望了其今后的发展趋势。
|
| 关 键 词： | 电子技术 声表面波器件 综述 压电薄膜 叉指换能器 |
| 文章编号： | 1001-2028（2008）02-0008-02 |
| 收稿时间： | 2007-10-26 |
| 修稿时间： | 2007-10-26 |
Research progress in thin film surface acoustic wave devices |
| |
| WANG Rui,YANG Cheng-tao,ZHANG Shu-ren,LI Jiang-xiong. Research progress in thin film surface acoustic wave devices[J]. Electronic Components & Materials, 2008, 27(2): 8-9 |
| |
| Authors: | WANG Rui YANG Cheng-tao ZHANG Shu-ren LI Jiang-xiong |
| |
| Affiliation: | WANG Rui,YANG Cheng-tao,ZHANG Shu-ren,LI Jiang-xiong (State Key Lab of Electronic Thin Films , Integrated Devices,University of Electronic Science , Technology of China,Chengdu 610054,China) |
| |
| Abstract: | The feature and history of the piezoelectric thin film surface acoustic wave (SAW) devices are described. And theoretic and practical developments of piezoelectric thin film SAW devices in the world are reviewed. The progress in future on SAW devices are also reviewed. |
| |
| Keywords: | electron technology SAW devices review piezoelectric film interdigital-transducer |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
