| 在玻璃衬底上制作K~+离子交换掩埋波导的新工艺 |
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| 引用本文： | 陈铮,刘文育. 在玻璃衬底上制作K~+离子交换掩埋波导的新工艺[J]. 中国激光, 1991, 18(2): 100-103 |
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| 作者姓名： | 陈铮 刘文育 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电子技术系，电子科技大学光电子技术系 成都 610054，成都 610054 |
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| 摘 要： | 本文报道用不同离子两步交换技术,在玻璃衬底上制作K~+离子交换掩埋波导的新工艺,它不要求施加外电场。用X射线能谱(XES)分析技术测试了K~+离子的浓度分布,证明所制出的样品是掩埋波导。
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| 关 键 词： | K~+离子交换 X射线能谱分析 掩埋波导 |
| 收稿时间： | 1989-01-18 |
A new fabrication technology of K~+-ion exchange buried waveguides on glass substrates |
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| Chen Zheng,Liu Wenyu. A new fabrication technology of K~+-ion exchange buried waveguides on glass substrates[J]. Chinese Journal of Lasers, 1991, 18(2): 100-103 |
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| Authors: | Chen Zheng Liu Wenyu |
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| Abstract: | A new fabrication technology of K+-ion exchange buried waveguides in glass substrates is presented for the first time, which includes two-step ion exchange processes in different chemicals. The processes are simple, feasible and unnecessary to apply electric field. X-ray energy spectrometry analyses show the guides are buried ones. |
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| Keywords: | K+-ion exchange X-ray energy speetrometry buried waveguide |
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