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| 纳米金刚石膜——一种新的具有广阔应用前景的CVD金刚石 | |
| 作者姓名： | 韩毅松 玄真武 刘尔凯 侯立 |
| 作者单位： | 北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京,100018 |
| 摘 要： | 以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用.当晶粒组成降到纳米级时,金刚石膜会表现出许多优异的性能,具有广阔的应用前景.与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用.纳米金刚石的鉴定和评价是纳米金刚石研究中的重要部分. |
| 关 键 词： | 纳米金刚石 化学气相沉积 CVD金刚石, |
| 文章编号： | 1000-985X(2002)02-0158-06 |
| 修稿时间： | 2001-11-15 |
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