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| 用于移相干涉的高精度可伸缩PZT驱动电源技术 | |
| 引用本文： | 郑超,何奇,周实,杨帅,崔健,邱丽荣.用于移相干涉的高精度可伸缩PZT驱动电源技术[J].光学技术,2021,47(3):321-326. |
| 作者姓名： | 郑超 何奇 周实 杨帅 崔健 邱丽荣 |
| 作者单位： | 北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081;之江实验室,浙江 杭州 310000 |
| 摘 要： | 针对现有的三压电陶瓷移相器难以驱动大口径参考镜进行移相干涉测量的问题,设计了一种用于被测镜单压电陶瓷驱动移相干涉测量系统的高精度压电陶瓷移相器驱动电源.电源采用误差放大式结构,根据输入信号与输出采样的偏差,通过比例作差与光耦隔离等环节输出控制信号,进而控制MOSFET的导通状态调整充放电电流,控制由倍压整流电路生成的直... |
| 关 键 词： | 光学测量 移相干涉 压电陶瓷 驱动电源 误差放大 |
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