| 离子束引起的在Al／Cr双层薄膜界面处的原子混合 |
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| 引用本文： | 吴美珍,刘惠珍.离子束引起的在Al／Cr双层薄膜界面处的原子混合[J].原子与分子物理学报,1991,8(4):2006-2011. |
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| 作者姓名： | 吴美珍 刘惠珍 |
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| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所，中国科学院近代物理研究所，中国科学院近代物理研究所，中国科学院近代物理研究所 上海市中国纺织大学基础部，上海市核子研究所 |
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| 基金项目： | 全国自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 用600keV的Kr~ 离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0×10~(15)-2.5×10~(16)Kr~ /cm~2。用2.0MeVa粒子对轰击前后的样品进行了卢瑟福背散射(RBS)分析,发现界面处有明显的原子混合存在;当轰击剂量≥1.0×10~(16)Kr~ /cm~2时,RBS谱出现有明显的坪台,经拟合计算和x射线衍射(XRD)测量证实确有化合物Al_(13)Cr_2存在;还分别得到了原子混合量及混合效率与轰击剂量的关系;最后对界面处的原子混合机制进行了讨论。
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| 关 键 词： | 离子束 薄膜 Al／Cr 原子 混合 界面 |
ION BEAM INDUCED ATOMIC MIXING IN Al/Cr BILAYERED SAMPLES' |
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| Wu Mei zhem,Liu Hui zhen
Shou Huan gen,Hou Ming dong.ION BEAM INDUCED ATOMIC MIXING IN Al/Cr BILAYERED SAMPLES''[J].Journal of Atomic and Molecular Physics,1991,8(4):2006-2011. |
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| Authors: | Wu Mei zhem Liu Hui zhen
Shou Huan gen Hou Ming dong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ion beam mixing Atomic mixing broadening radiation -enhanced diffusion Chemical effect |
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