| 一种改进的旋转式微机械结构 |
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| 引用本文： | 刘祖韬,黄庆安,李伟华.一种改进的旋转式微机械结构[J].半导体学报,2005,26(5):1040-1044. |
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| 作者姓名： | 刘祖韬 黄庆安 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 给出了一种改进的旋转式微机械薄膜残余应变测试结构．与已有的普通微旋转结构相比，改进的微旋转结构执行梁的宽度都保持一致．改进的微旋转结构在旋转变形之后，整个执行梁都会发生弯曲变形，所以在变形之后结构的残余应力非常小且分布均匀，没有普通微旋转结构的高应力集中，因此测量精度高于传统微旋转结构，更适合于高残余应变薄膜的测试．文中详细推导了改进微旋转结构的力学模型，并用有限元软件进行了模拟分析，同时详细地给出了改进的微旋转结构与传统微旋转结构的性能对比，最后用实验对改进微旋转结构的理论模型进行了验证．
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| 关 键 词： | 微机械 微旋转结构 残余应变 测量 有限元分析鲻 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)05-1040-05 |
| 修稿时间： | 2004年6月10日 |
An Optimized Micro-Rotating Structure for Measuring Residual Strain of Thin Films |
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| Liu Zutao,Huang Qingan,Li Weihua.An Optimized Micro-Rotating Structure for Measuring Residual Strain of Thin Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(5):1040-1044. |
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| Authors: | Liu Zutao Huang Qingan Li Weihua |
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| Abstract: | This paper presents an optimized micro-rotating structure for local measurement of residual strain in a thin film.This optimized structure is composed of three cantilever beams with uniform width.An analytical model is derived to relate the measured displacement to residual strain.Finite-element modeling is also used to analyze the model.Experimental results with p-type doped as well as undoped LPCVD polysilicon films demonstrate the effectiveness of the proposed structure. |
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| Keywords: | residual strain micro-rotating-structures measurement film micromachining finite element analytic |
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