| 射频磁控溅射法制备BST薄膜及性能研究 |
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| 引用本文： | 陈宏伟,杨传仁,符春林,裴亚芳,胡立业.射频磁控溅射法制备BST薄膜及性能研究[J].压电与声光,2005,27(3):297-299,302. |
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| 作者姓名： | 陈宏伟 杨传仁 符春林 裴亚芳 胡立业 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家"九七三"基金资助项目(Z01) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备了钛酸锶钡薄膜材料,研究了薄膜的晶体结构和微观形貌,测试了其偏压特性曲线和电滞回线。初步探讨了εr-E曲线、电滞回线发生平移的原因：上下电极与钛酸锶钡薄膜间的界面势垒不对称。
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 钛酸锶钡 铁电薄膜 εr-E曲线 电滞回线 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)03-0297-03 |
Properties and Preparation of Barium Strontium Titanate Thin Films by RF-Magnetron Sputtering |
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| CHEN Hong-wei,YANG Chuan-ren,FU Chun-lin,PEI Ya-fang,HU Li-ye.Properties and Preparation of Barium Strontium Titanate Thin Films by RF-Magnetron Sputtering[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(3):297-299,302. |
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| Authors: | CHEN Hong-wei YANG Chuan-ren FU Chun-lin PEI Ya-fang HU Li-ye |
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