| 512×2元InGaAs光谱传感物联网节点研制 |
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| 引用本文： | 柯鹏瑜,刘梦璇,王绪泉,黄松垒,张永刚,方家熊.512×2元InGaAs光谱传感物联网节点研制[J].红外与毫米波学报,2021,40(5):582-588. |
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| 作者姓名： | 柯鹏瑜 刘梦璇 王绪泉 黄松垒 张永刚 方家熊 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院大学,北京100049;中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院大学,北京100049;上海科技大学,上海201210;中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金面上项目（62075229），安徽省科技重大专项（S202003a06020001），传感技术联合国家重点实验室开放课题（SKT1907），红外物理国家重点实验室开放课题（M201901）。 |
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| 摘 要： | 基于512×2元InGaAs光谱组件研制一款新型光谱传感物联网节点。针对中心距为25μm的双列小像元探测器结构,在信号处理电路中对双通道数据进行均值处理,减小了单个光敏元响应异常对系统测试结果带来的影响。实验结果表明,此节点的测试波长范围为976～1700 nm,光谱分辨率达到13.5 nm,波长准确性优于3.2 nm,波长重复性优于0.3 nm,动态范围达到2300:1,吸光度重复性0.0011 AU,光源基线稳定性优于0.0001 A/h。采用多种标称酒精浓度的酒类样本对此光谱传感节点进行测试,验证其功能。
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| 关 键 词： | 短波红外 光谱节点 分光滤光片 InGaAs探测器 |
| 收稿时间： | 2020/10/27 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/7/12 0:00:00 |
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