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杂志ISSN号
利用喷气式Z箍缩等离子体装置进行X射线光刻
作者姓名:
郭小明
张贵新
罗承沐
周兆英
作者单位:
清华大学电机工程系
基金项目:
国家自然科学基金委员会
摘 要:
喷气式Z箍缩等离子体装置可以产生较强的软X射线,能量大约在2—6keV之间。利用此装置产生的软X射线,用CSM作光刻胶,进行了X射线光刻的初步研究,得到了较为清晰的光刻图形,曝光深度估计在10μm左右
关 键 词:
Z箍缩等离子体
等离子体X射线源
X射线光刻
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