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| 减反射膜 | |
| 作者姓名： | A.W.Louderback M.A.Zook 江沨 |
| 摘 要： | 作用反光基底的三层减反射膜。紧贴基底的膜层有效光学厚度视基底的折射率不同,可以为λ/4或λ/2;中间层膜由混合的金属氧化物组成,有效光学厚度为λ/2;第三层膜的有效光学厚度为λ/4。镀中间层膜的方法是,把氧气流对着射向膜料的电子束。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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