| 溶胶-凝胶法Er_2O_3薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 王兴军,董斌,周治平.溶胶-凝胶法Er_2O_3薄膜的结构和光学特性[J].光子学报,2010,39(7). |
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| 作者姓名： | 王兴军 董斌 周治平 |
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| 作者单位： | 1. 北京大学,区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,北京,100871
2. 大连民族学院,理学院,光电子技术研究所,辽宁,大连,116600 |
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| 摘 要： | 针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在Si(100)和SiO2/Si(100)基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.900℃热处理获得单一立方结构的Er2O3薄膜材料.光致发光(PL)特性研究表明在654nm波长的激光泵浦下,Er2O3薄膜材料获得了1.535μm的发光峰,并具有较小的温度猝灭1/5.在SiO2/Si(100)基体上制备的Er2O3薄膜材料的光致发光强度比Si(100)基体上制备的薄膜提高2-3倍.研究结果表明具有强光致发光特性的Er2O3薄膜是一种有前景的硅基光源和放大器材料.
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| 关 键 词： | 发光学 光学薄膜 溶胶-凝胶法 氧化铒 |
Structural and Photoluminescence Properties of Er2O3 Films by Sol-Gel Method |
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| WANG Xing-jun,DONG Bin,ZHOU Zhi-ping.Structural and Photoluminescence Properties of Er2O3 Films by Sol-Gel Method[J].Acta Photonica Sinica,2010,39(7). |
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| Authors: | WANG Xing-jun DONG Bin ZHOU Zhi-ping |
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