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用表面来提高微波氧等离子体的密度

引用本文：	拾灵.用表面来提高微波氧等离子体的密度[J].等离子体应用技术快报,2000(10):18-19.

作者姓名：	拾灵

摘要：
关键词：	微波氧等离子体密度表面波等离子体源
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