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| 光学薄膜镀制的实时显示和自动控制系统 | |
| 作者姓名： | 史大道 |
| 作者单位： | 上海机械学院 |
| 摘 要： | <正> 一、引言传统的真空镀膜,全靠人工操作控制。这样的操作控制,会影响光学薄膜的质量和重复性精度。因此薄膜工作者多年来一直在致力于探索能严格控制各项工艺因素的自动化生产装置或系统。理想的自动化控制系统,应具备显示、控制、运算、反馈修正等各种功能。因此使用微处理机作为全套系统中 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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