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| 薄膜应力应变曲线和基本力学性能测试 | |
| 作者姓名： | 刘宝琛 史训清 |
| 作者单位： | 清华大学 |
| 摘 要： | 本文采用白光散斑和数字散斑两种方法测量了厚度在１－６０μｍ）之间康铜孤立膜和其上喷镀ＴｉＯ２后复合膜的应力应变曲线,并成功地利用一种新方法－复合材料分离法由孤立膜和复合膜应力应变曲线分离出ＴｉＯ２膜的应力应变曲线,同时给出了它们的基本力学性能（如（ｅ,ｑｓ,ｑｓ,Ｋ）测量结果表明这一方法对于微电子及其组件中常用的薄膜（１－６０μｍ）及超薄膜（０．１－１μｍ）的应力应变和基本力学性能的测量有普遍意义 |
| 关 键 词： | 薄膜 应力应变曲线 力学测量 |
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