| 氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析 |
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| 引用本文： | 葛欣,尚志航,秦岩,卢志玉.氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析[J].光谱实验室,2002,19(6):819-821. |
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| 作者姓名： | 葛欣 尚志航 秦岩 卢志玉 |
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| 作者单位： | 沈阳医学院化学教研室,沈阳市黄河北大街146号,110034 |
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| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法，结合氢水平衡还原处理得到了二氧化钒薄膜，对薄膜的XPS能谱分析及对反应体系的热力学分析表明，氢水 平衡还原处理是制备二氧化钒薄膜的一种可行方法。
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| 关 键 词： | 制备 XPS能谱 分析 溶胶－凝胶法 氢水平衡法 二氧化钒薄膜 X射线光电子能谱 热力学 |
| 文章编号： | 1004-8138(2002)06-0819-03 |
| 修稿时间： | 2002年5月31日 |
Preparation of VO2 Thin Films by H2/H2O Equilibrium Method and XPS Analysis |
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| GE Xin,SHANG Zhi,Hang,QIN Yan,LU Zhi,Yu.Preparation of VO2 Thin Films by H2/H2O Equilibrium Method and XPS Analysis[J].Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory,2002,19(6):819-821. |
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| Authors: | GE Xin SHANG Zhi Hang QIN Yan LU Zhi Yu |
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| Abstract: | VO 2 thin films were prepared by the sol gel method followed by the H 2/H 2O equilibrium reduction treatment. The films were analyzed by the X ray photoelectron spectrometry (XPS) techniques. The XPS results and the thermodynamic analysis show that the H 2/H 2O equilibrium method is a practical way to prepare VO 2 thin films. |
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| Keywords: | Sol Gel Method Hydrogen Water Equilibrium Treatment Vanadium Oxide Thin Films XPS |
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